De halfgeleiderindustrie vereist componenten die in staat zijn om met precisie, reinheid en langdurige stabiliteit te werken onder steeds veeleisender omstandigheden. De JINPAT LPT holle as sleepring is speciaal ontwikkeld voor deze uitdagingen en biedt betrouwbare roterende transmissie in omgevingen met hoge temperaturen en hoog vacuüm, die vaak voorkomen in geavanceerde apparatuur voor halfgeleiderverwerking. Met een ontwerp dat prioriteit geeft aan duurzaamheid, contaminatiecontrole en elektrische prestaties, ondersteunt de LPT-serie wereldwijde halfgeleiderfabrikanten bij het handhaven van een consistente productiekwaliteit.
De roestvrijstalen behuizing van de sleepring, gemaakt van SUS304, biedt een sterke weerstand tegen thermische spanning en mechanische vervorming. Binnenin de unit zorgen geleidende ringen van een hoge-temperatuurlegering en contacten van edelmetaalcomposiet voor stabiele signaal- en stroomoverdracht, zelfs tijdens langdurig gebruik boven de 200°C. De interne structuur is ontworpen voor efficiënt thermisch beheer, waardoor uitzetting wordt geminimaliseerd en een lage elektrische ruis wordt gehandhaafd gedurende de hele productiecyclus.
Vacuümcompatibiliteit is een ander bepalend kenmerk van de LPT-serie. Halfgeleiderprocessen zijn afhankelijk van nauwkeurig gecontroleerde vacuümomgevingen waar contaminatie tot bijna nul moet worden gereduceerd. Om aan deze normen te voldoen, bevat de sleepring een droog, smeermiddelvrij ontwerp, waardoor de mogelijkheid van oliedampafgifte wordt geëlimineerd. Het meerfasige afdichtingssysteem en de materialen met lage uitgassing behouden een uitstekende luchtdichtheid. Bovendien voorkomt een koperionenvrij ontwerp metaalverontreiniging - een cruciaal voordeel bij waferproductie en andere gevoelige processen.
De LPT holle as sleepring wordt al met succes gebruikt in een breed scala aan apparatuur voor de productie van halfgeleiders. De combinatie van thermische duurzaamheid, mechanische stabiliteit en vacuümreinigheid heeft het een sterke erkenning opgeleverd bij fabrikanten van apparatuur die op zoek zijn naar betrouwbare transmissieoplossingen met een lange levensduur. Of het nu is geïntegreerd in wafer-handlingsystemen, inspectiemodules of vacuümroterende apparaten, de LPT-serie draagt bij aan een verbeterde operationele stabiliteit en procesbetrouwbaarheid.
Naarmate halfgeleidertechnologieën zich blijven ontwikkelen, zullen de eisen aan apparatuur alleen maar strenger worden. JINPAT blijft zich inzetten voor het ondersteunen van wereldwijde fabrikanten door het ontwikkelen van hoogwaardige sleepringoplossingen die zijn gebaseerd op geavanceerde materialen, precisie-engineering en strenge normen voor contaminatiecontrole. De LPT-serie vertegenwoordigt deze toewijding en biedt een robuuste en betrouwbare roterende interface die is ontworpen om te voldoen aan de veranderende behoeften van de halfgeleiderindustrie wereldwijd.